什么是余擺線真空泵

什么是余擺線真空泵？

余擺線型轉子在泵腔內作行星運動，使工作室容積周期性變化以實現抽氣。在泵腔內各運動件表面間

用油膜密封，所以余擺線真空泵時一種油封式機械真空泵。它主要由泵體和轉子構成。轉子的型線為

余擺線，泵腔型線為轉子型線的外包絡線。轉子上的內齒輪與固定在泵蓋上的小齒輪嚙合。

當轉動軸旋轉時，偏心輪即帶動內齒輪繞小齒輪作行星運動，泵體點永遠與轉子表面接觸，將泵腔分

隔為A和B室。轉自逆時針方向旋轉，A室內壓力逐漸降低，氣體從吸氣口不斷被吸入，同時B室內的氣

體逐漸被壓縮，通過排氣閥排出泵外。

從結構原理和使用性能來看，余擺線泵與同類型泵相比有很多優點：

1、運轉平穩、振動小、尺寸小、抽速大；

2、在低壓范圍內（1-100pa)其抽速野性曲線由于滑閥泵；

3、對被抽氣體中含有一定量的粉塵及小顆粒等不太敏感；

4、適應較高溫度的工作環境，可通過溫控裝置使泵腔保持較高溫度，以抽除大量的可凝性水蒸汽。

由于余擺線泵在1-10pa壓力范圍內仍具有很大的抽速，因此該泵適用于真空行業中的大排氣量裝置。

目前已在真空冶金、真空熱處理、真空干燥等行業中得到應用。